FC-R7700系列采用高速響應、高靈敏度的傳感器，隨著(zhù)技術(shù)的提升，在工作中發(fā)揮出優(yōu)異的性能，采用特有技術(shù)開(kāi)發(fā)的常開(kāi)或常閉電磁閥，實(shí)現了高速應答，防止了設定過(guò)程中的過(guò)沖和欠沖，保證設定值在2秒內達到安定的效果。產(chǎn)品系列具有優(yōu)秀的統一性和可靠性，目前世界上約4萬(wàn)只運行在客戶(hù)現場(chǎng)，涉及各行各業(yè)，其一年不到0.5%的返修率，廣受客戶(hù)贊譽(yù)。
高速響應─輸入設定值后2秒內流量穩定
彈性體（橡膠）密封件
VCR、VCO 和 Swagelok 兼容連接
滿(mǎn)量程流量范圍從 10sccm 到 200slm
常閉或常開(kāi)電磁控制閥
外部泄漏率 1x10-7Pa?m3/sec (He) 以下
廣泛用于半導體、液晶、數據存儲裝置、工業(yè)真空設備，工業(yè)用鍍膜、光纖通訊、實(shí)驗儀器、科學(xué)分析儀器等行業(yè)中，對離子擴散、濺射、氣體燃燒，CVD、PVD、PECVD。VOD/VAD拉絲工藝，表面處理等工藝中的非腐食性氣體進(jìn)行過(guò)程控制。
模擬信號控制
高精度
快速應答
橡膠密封
高重復性
高可靠性
| 主要參數 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 工作壓差 | 10sccm~5slm | N/O: 6~20SLM N/C: 6~50SLM | 35~200slm |
| 響應時(shí)間 | < 1秒 | < 2秒 | |
| 精度 | ≤ ±1% F.S. | ≤ ±2% F.S. | |
| 線(xiàn)性精度 | ≤ ±0.5% F.S. | ≤ ±1% F.S. | |
| 重復精度 | ≤ ±0.2% F.S. | ||
| 泄漏率 | 1 × 10?? atm-cc/sec He | ||
| 控制范圍 | 2 ~ 100% F.S. | ||
| 工作壓差 | 49 ~ 275KpaD | 69 ~ 275KpaD 98 ~ 275KpaD | 147 ~ 275KpaD |
| 最大耐壓 | 1Mpa | ||
| 溫度范圍 | 5 ~ 45°C | ||
| 備注 | N/O: 常開(kāi)閥門(mén), N/C: 常閉閥門(mén) F.S. 30SLM時(shí)的精度是 ≤ ±1% F.S. 150SLM時(shí)的量程范圍是5~100%, F.S. 150SLM以上啟動(dòng)工作壓差為195 ~ 295Kpa | ||
| 物理指標 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 閥門(mén)類(lèi)型 | 常開(kāi)或常閉 | ||
| 密封材料 | 氟橡膠 / 氧丁橡膠 | ||
| 接氣材質(zhì) | SUS 316L, PTFE, 氟橡膠, 氧丁橡膠 | ||
| 標準接口 | 1/4" VCR, 1/4" VCO, 1/4" Swagelok | 3/8" VCR, 3/8" Swagelok | |
| 安裝方式 | 適合任何方向安裝 | 電氣向上部安裝 | |
| 重量 | 1.0kg | 2.2kg | |
| 電氣參數 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 工作電壓 | +15VDC ±2% 25mA, -15VDC ±2% 180mA | +15VDC ±2% 25mA | |
| 工作功率 | 3.1W | 3.5W | |
| 輸入信號 | 0-5VDC | ||
| 輸出信號 | 0-5VDC | ||
